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深圳市中圖儀器股份有限公司

測粗糙度的光學輪廓儀

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詳細信息

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SuperViewW1測粗糙度的光學輪廓儀以白光干涉技術為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等等領域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,SuperViewW1測粗糙度的光學輪廓儀具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應變測量以及表面形貌測量。它所具有技術競爭力在于接觸式和光學三維輪廓儀的結合。通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究,也可以用于工業(yè)產品的檢測。


結果組成:

1、三維表面結構:粗糙度,波紋度,表面結構,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。


白光干涉儀品牌

SuperViewW1光學3D表面輪廓儀,白光干涉儀


與臺階儀相比具有以下優(yōu)點:

一是非接觸高精密測量,不會劃傷甚至破壞工件;

二是測量速度快,不必像探頭逐點進行測量;

三是不必作探頭半徑補正,光點位置就是工件表面測量的位置;

四是對高深寬比的溝槽結構,可以快速而精確的得到理想的測量結果。


SuperViewW1測粗糙度的光學輪廓儀重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達0.1nm。采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高;隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測量重復性。

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